열반사 현미경(Thermal Reflectance Microscope)은 측정 시료의 온도에 따라서 시료의 광학적 반사율이 변한다는 물리적인 현상에 근거하여, 광학적인 반사율을 측정함으로써 대상 시료의 온도를 산출해 내는 기술로, 적외선 영상과 같은 전통적인 발열 영상 이미징 기법으로는 얻을 수 없었던 국소적인 영역에 대한 고해상도 현미경적 열영상 이미징을 가능하게 합니다.
이러한 열반사 현미경 기법을 레이저 스캐닝 컨포컬 방식으로 구현한 것이 컨포컬 열반사 현미경이며, 일반 열반사 현미경보다 우수한 열영상 해상도의 열분포 이미지를 제공하며, 또한 컨포컬 특성을 이용한 후면의 온도측정도 가능합니다. (단, 후면 온도 측정의 경우 소자의 재료 및 두께 등에 따라 제한됩니다.)

일반 광학 영상

공초점 열반사 현미경에 의한 열분포 영상

CTRM700 전용 프루브스테이션 장착 구성

기존 프루브스테이션에 CTRM 측정헤드 장착 구성