나노스코프시스템즈

제품소개

NS-3500은 재료 표면의 3차원 굴곡 형상을 마이크로미터 이하의 정밀도로 정확하게 측정할 수 있는 고속 레이저 컨포컬 3D 현미경 입니다. 컨포컬 방식은 (confocal microscopy) 대표적인 비접촉식 검사법인 광학 측정 방법 중 가장 신뢰할 수 있는 측정 방법으로, 유리와 같은 투명 재질의 재료에 대해서도 매우 뚜렷한 3차원 영상을 제공합니다. NS-3500은 하드웨어와 소프트웨어가 모두 국내 기술로 개발되어 국내 사용자들의 취향에 맞추어 핵심적인 기능에 초점을 맞추고, 직관적인 소프트웨어로 편리하게 사용할 수 있도록 구성되어 있습니다.

제품특징

- 고분해능 비파괴식 광학 3차원 측정기
- 광학 조도(roughness) 측정
- 실시간 컨포컬 영상 이미지
- 다양한 광학줌 기능
- 2D 현미경 영상과 컨포컬 영상의 동시 관찰
- 시편 기울기 자동 보정 알고리즘

- 편리한 분석 모드 소프트웨어
- 신뢰성 높은 고속 고정밀 단차 측정
- 투명, 반투명 재질의 표면 측정 및 투과 관찰
- 샘플 전처리 불필요
- 이미지 스티칭 기능에 의한 대면적 현미경 관찰

소프트웨어

오퍼레이션 소프트웨어 NSWorks

분석 소프트웨어 NSViewer

측정영상의 특정 구간에 대한 조도(roughness)측정

이미지 스티치

고배율의 현미경 영상은 그 관찰 영역이 작습니다. 관찰하고자 하는 대면적 샘플에 대해서 자동으로 연속적으로 측정하고, 이를 이어 붙이는 스티칭 기능은 NS-3500의 전자동 XY 스테이지와, 이미지 스티칭 소프트웨어인 NSMosaic에 의해 편리하여 구현됩니다. 이렇게 만들어진 대면적 영상은 마치 한 개의 영상처럼 저장되고 분석할 수 있습니다.

어플리케이션
분야

NS-3500은 마이크로미터 수준, 또는 마이크로미터 이하 수준의 미세 패턴 및 미세 형상의 높이, 거리, 각도, 면적, 부피 등을 측정하기 위한 최적의 광학적 솔루션입니다.

- 반도체 : IC 패턴 측정, 범프 높이 측정, 와이어 루프 높이 측정, 이물 검사, CMP 공정
- FPD 제품 : 터치 패널 스크린 검사, ITO 패턴 검사, LCD 컬럼 스페이서 높이 측정
- MEMS 디바이스 : MEMS 구조체의 3D 프로파일 측정, 표면 조도 검사, MEMS 패턴 측정
- 글라스 표면 : 박막형 태양 전지 표면 형상 측정, 태양 전지 텍스쳐 및 레이저 패턴 검사 및 측정
- 재료 및 소재 연구 : 툴 표면 측정 및 검사, 조도(roughness) 측정, 크랙 분석