레이저 컨포컬
3D 현미경
NS-35OO

간단한 조작으로 실시간 컨포컬 영상 이미지를!

NS-3500은 재료 표면의 3차원 굴곡 형상을 마이크로미터 이하의 정밀도로 정확하게 측정할 수 있는 고속 레이저 컨포컬 3D 현미경 입니다. 컨포컬 방식은 (confocal microscopy) 대표적인 비접촉식 검사법인 광학 측정 방법 중 가장 신뢰할 수 있는 측정 방법으로, 유리와 같은 투명 재질의 재료에 대해서도 매우 뚜렷한 3차원 영상을 제공합니다.
NS-3500은 하드웨어와 소프트웨어가 모두 국내 기술로 개발되어 국내 사용자들의 취향에 맞추어 핵심적인 기능에 초점을 맞추고, 직관적인 소프트웨어로 편리하게 사용할 수 있도록 구성되어 있습니다.

제품 특징

∙ 고분해능 비파괴식 광학 3차원 측정기
∙ 광학 조도(roughness) 측정
∙ 실시간 컨포컬 영상 이미지
∙ 다양한 광학줌 기능
∙ 2D 현미경 영상과 컨포컬 영상의 동시 관찰
∙ 시편 기울기 자동 보정 알고리즘

∙ 편리한 분석 모드 소프트웨어
∙ 신뢰성 높은 고속 고정밀 단차 측정
∙ 투명, 반투명 재질의 표면 측정 및 투과 관찰
∙ 샘플 전처리 불필요
∙ Dual Z-scanning 모드 제공
∙ 이미지 스티칭 기능에 의한 대면적 현미경 관찰

소프트웨어

오퍼레이션 소프트웨어 NSWorks

분석 소프트웨어 NSViewer

이미지 스티치

고배율의 현미경 영상은 그 관찰 영역이 작습니다. 관찰하고자 하는 대면적 샘플에 대해서 자동으로 연속적으로 측정하고, 이를 이어 붙이는 스티칭 기능은 NS-3500의 전자동 XY 스테이지와, 이미지 스티칭 소프트웨어인 NSMosaic에 의해 편리하여 구현됩니다. 이렇게 만들어진 대면적 영상은 마치 한 개의 영상처럼 저장되고 분석할 수 있습니다.

어플리케이션 분야

NS-3500은 마이크로미터 수준, 또는 마이크로미터 이하 수준의 미세 패턴 및 미세 형상의 높이, 거리, 각도, 면적, 부피 등을 측정하기 위한 최적의 광학적 솔루션 입니다.

반도체 – IC 패턴 측정, 범프 높이 측정, 와이어 루프 높이 측정, 이물 검사, CMP 공정

FPD 제품 – 터치 패널 스크린 검사, ITO 패턴 검사, LCD 컬럼 스페이서 높이 측정

MEMS 디바이스 – MEMS 구조체의 3D 프로파일 측정, 표면 조도 검사, MEMS 패턴 측정

글라스 표면 – 박막형 태양 전지 표면 형상 측정, 태양 전지 텍스쳐 및 레이저 패턴 검사 및 측정

재료 및 소재 연구 – 툴 표면 측정 및 검사, 조도(roughness) 측정, 크랙 분석

사양

Model Microscope NS-3500 Remarks
Controller NS-3500E
Objective lens magnification 10X 20X 50X 100X 150X
Observation / Measuring range Horizontal (H) : µm 1400 700 280 140 93
Vertical (V) : µm 1050 525 201 105 70
Working distance : mm 16.5 3.1 0.54 0.3 0.2
Numerical aperture (N.A.) 0.30 0.46 0.80 0.95 0.95
Optical zoom ×1 to ×6
Total magnification 178× to 26700×
Optical system for observation / measurement Pinhole confocal optical system
Height measurement Measuring scan range Fine scan : 400 µm (and/or) Long scan : 10mm
(NS-3500-S)
Note1
Fine scan : 200 µm (or) Long scan : 10mm
(NS-3500-T)
Display resolution 0.001 µm
Repeatability 3σ 0.010 µm Note2
Width measurement Display resolution 0.001 µm
Repeatability 3σ 0.02µm Note3
Frame memory Pixel count 1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96
For confocal image 12bit
For color image 8-bit for RGB each
For height measurement 16bit
Frame rate Surface scan 20 Hz to 160 Hz
Line scan ~8 kHz
Auto function Auto gain, Auto focus
Laser beam light source for confocal measurement Wavelenghth Violet laser, 405 nm
Output -2mW
Laser Class Class 3b
Laser light-receiving clement PMT (photomultiplier tube)
Light source foroptical observation Lamp 10W LED
Color camera for optical observaion Imaging element 1/2" Color CCD image sensor
Recording resolution 640×480
Auto adjustment Gain, Shutter speed
Data processing unit Dedicated PC
Power supply Power-supply volatage 100 to 240 VAC, 50/60 Hz
Current consumption 500 VA max.
Weight Microscope Approx. ~ 50kg (Measuring head unit : ~11 kg)
Controller -8 kg
Isolation system Active isolator Option

∙ Note 1: Fine scan is performed by piezoelectric actuator (PZT)
∙ Dual scan mode by fine and long scanner is available only for NS-3500-S (Single lens type)
∙ Note 2: 100 times measurement of standard sample (1µm step height) with 100× /0.95 objective
∙ Note 3: 100 times measurement of standard sample (5µm pitch) with 100× /0.95 objective

Dimensions

갤러리

논문게재

Jaurnal Article Title Pages Year Authors
Journal of the Korean Society of Marine Environment & Safety Surface Characteristics and Antifouling Performance of Inorganic MnOx-WO3-TiO2 Nanopowder for Self-polishing Copolymer Paint Applications Vol. 22, No. 2, pp. 253-258 2016 Byeongkil Shin, Hyun Park
한국과학기술원 신소재공학과 스테인리스강의 국부부식에 미치는 Mo의 영향 및 용융탄산염 연료전지 환경에서 스테인리스강의 부식거동 박사학위논문 2015 안수훈
Measurement Science and Technology High speed 3D surface profile without axial scanning: dual-detection confocal reflectance microscopy Meas. Sci. Technol. 25 (2014) 125403 (6pp) 2014 Dong-Ryoung Lee, Young-Duk Kim, Dae-Gab Gweon and Hongki Yoo
한국생산제조시스템학회지 대면적/고정밀 3차원 표면형상의 5자유도 정합법 개발 및 평가 23:2 (2014) 118-126 2014 이동혁, 안정화, 조남규
Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers Comparison of Ablation Characteristics of Carbon Nanotube reinforced Hybrid Al2O3 by using Ultrashort Pulse Laser Vol.12, No.6, pp.23-29 2013 Jun-Young Lee, Ji-Wook Yoon, Myung-Chang Kang, Sung-Hak Cho
한국기계가공학회지 순수 알루미나와 탄소나노튜브 강화 알루미나 복합체의 극초단 펄스레이저 가공특성 비교 Vol.12, No.6, pp.23-29 2013 이준영, 윤지욱, 강명창, 조성학
나노스코프시스템즈

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