컨포컬
열반사 현미경
CTRM700

컨포컬 열반사 현미경, CTRM700

열반사 현미경(Thermal Reflectance Microscope)은 측정 시료의 온도에 따라서 시료의 광학적 반사율이 변한다는 물리적인 현상에 근거하여, 광학적인 반사율을 측정함으로써 대상 시료의 온도를 산출해 내는 기술로, 적외선 영상과 같은 전통적인 발열 영상 이미징 기법으로는 얻을 수 없었던 국소적인 영역에 대한 고해상도 현미경적 열영상 이미징을 가능하게 합니다

이러한 열반사 현미경 기법을 레이저 스캐닝 컨포컬 방식으로 구현한 것이 컨포컬 열반사 현미경이며, 일반 열반사 현미경보다 우수한 열영상 해상도의 열분포 이미지를 제공하며, 또한 컨포컬 특성을 이용한 후면의 온도측정도 가능합니다. (단, 후면 온도 측정의 경우 소자의 재료 및 두께 등에 따라 제한됩니다.)

컨포컬 열반사 현미경 특징

일반 광학 영상

공초점 열반사 현미경에 의한 열분포 영상

제품 구성

CTRM700의 일반 현미경 형태의 구성

프루브스테이션 장착 구성

사양

Model CTRM700
Objective lens magnification 10x 20x 50x 100x
Observation/Measuring range Horizontal (H): μm 1400 700 280 140
Vertical (V): μm 1050 525 210 105
Optical zoom x1 to x6
Optical system for observation/measurement Confocal optical system
Height measuring range 7 mm
Spatial resolution Lateral resolution 0.300 μm
Axial resolution 0.800 μm
Thermal resolution 1 ˚C
Pixel Resolution Confocal imaging pixels 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96
Active thermal pixels 1024 x 768
Frame Rate Confocal imaging mode 10 Hz to 160 Hz
Thermal mode 0.3 Hz
Laser light source for confocal thermal reflectance microscope Wavelength Diode laser, 638 nm
Output ~2 mW
Laser class Class 3a
Light source for bright-field observation 10 W LED
Color camera for bright-field observation Imaging element 1/3” Color CCD image sensor
Recording resolution 640 x 480
Data processing unit Dedicated PC
Power supply Power-supply voltage 100 to 240 VAC, 50/60 Hz
Current consumption 500 VA max.
Weight Microscope Approx. ~50 kg (Measuring Head : ~14 kg)
Controller ~8 kg

제품 갤러리

나노스코프시스템즈

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